Индивидуальная установка для нанесения плазменного магнетронного напыления с 5 головками

Входная мощность

• Однофазный 220 В переменного тока, 50/60 Гц

• 1000 Вт (включая вакуумный насос и чиллер)

Источник питания

• Один ВЧ-генератор с автоподстройкой 13,5 МГц и мощностью 300 Вт включен в комплект и подключен к распылительным головкам.

• Поворотный переключатель может активировать одну распылительную головку за раз. При многослойном процессе распылительные головки можно переключать «в плазме» без нарушения вакуума.

• Несколько источников питания RF являются дополнительными, что позволяет пользователю распылять несколько мишеней одновременно для комбинаторного распыления.

• Ноутбук с управляющим программным обеспечением доступен за дополнительную плату для контроля времени распыления и мощности каждого высокочастотного пистолета.

Головка для магнетронного распыления
  
  
 

• В комплект входят пять 1-дюймовых магнетронных распылительных головок с рубашками водяного охлаждения, которые вставляются в кварцевую камеру с помощью быстроразъемных зажимов.

• На фланце установлена ​​одна заслонка с ручным управлением.

• Один циркуляционный водоохладитель 10 л / мин с цифровым управлением включен для охлаждения распылительных головок.

Мишень для распыления
  
 

• Требование к целевому размеру: диаметр 1 дюйм × толщина 1/8 дюйма макс.

• Диапазон расстояний распыления: 50-80 мм регулируется

• Диапазон углов распыления: 0-25 ° регулируемый 

• Медная мишень диаметром 1 дюйм и мишень из Al2O3 включены для демонстрационного тестирования

Вакуумная камера

• Вакуумная камера изготовлена ​​из нержавеющей стали 304 с ребром жесткости. 

• Размер внутренней вакуумной камеры: 470 мм Д × 445 мм Г × 522 мм В (~ 105 литров, 18,5 × 17,5 × 20,5 дюймов)

• Круглый диаметром 380 мм. Распашная дверь со стеклянным окном диаметром 150 мм

• Диапазон температур: от -15 до 150 ° C

• Уровень вакуума: 4.0E-5 торр с турбонасосом

Держатель образца

• Вращающийся держатель образцов диаметром 150 мм для покрытия 16 образцов на одну партию разными составами

• Держатель образца и вращение маски можно контролировать вручную с помощью кнопки или автоматически с помощью управляющего программного обеспечения (необязательно)

• Температура держателя образца регулируется от комнатной до 600 ° C макс.

Вакуумный насос

• Вакуумный порт KF40 встроен для подключения к вакуумному насосу.

• Компактный турбонасос в комплекте

• 4.0E-5 Торр с дополнительным турбонасосом

Нетто

60 кг

Гарантия 

Ограниченная гарантия сроком на один год с пожизненной поддержкой